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單晶硅壓力/差壓變送器

2022-04-09    來源:南京賽亞特福精密儀器有限公司  

壓阻壓力變送器的原理。
壓阻壓力變送器。
單晶硅壓力/差壓變送器用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度和壓力,然后將其轉換為4~20ma和Hart電流信號輸出。它還可以通過參數設置和過程控制與Hart-375或BST和Modem相互通信。與傳統電接點壓力表的區別在于,它使用納米單晶硅作為傳感器材料。傳感器模塊采用全焊接技術,內部有一個整體過載膜片、一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連。壓力通過隔離膜片和填料傳遞給傳感器的硅芯片,改變壓力傳感器芯片的電阻值,導致檢測系統的輸出電壓變化為標準。輸出電壓與壓力變化成正比,然后由適應單元和放大信號轉換為標準輸出。
單晶硅壓阻壓力傳感器的工作原理。
電阻壓力傳感器由單晶硅的電阻效應組成。以單晶硅片為彈性元件,在單晶硅片上采用集成電路工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻。并將電阻連接到橋梁路上,單晶硅片放置在傳感器腔內。當壓力發生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散到上面的應變電阻與測量壓力成比例,然后通過橋梁電路獲得相應的電壓輸出信號。
擴散硅溫度儀表工作原理也是基于壓阻效應,利用壓阻效應原理,被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
不同壓力傳感器的工作原理。壓阻式力傳感器:電阻應變片是壓阻式應變傳感器的主要組成部分之一。金屬電阻應變片的工作原理是吸附在基體材料上應變電阻隨機械形變而產生阻值變化的現象,俗稱為電阻應變效應。陶瓷壓力傳感器:陶瓷壓力傳感器基于壓阻效應,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋,由于壓敏電阻的壓阻效應,使電橋產生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,標準的信號根據壓力量程的不同標定為等,可以和應變式傳感器相兼容。

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